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Bonded Slit Valve Plate
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Bonded Slit Valve Plate의 특징

O-ring Insert Type Valve의 경우 구동시 일차적으로 Twist에 의한 물리적 Damage를 받을수 있으며, 장착시 일관된 Sealing의 어려움이 있다.즉, 비틀림, 마모, 과도한 압축과 같은 물리적 현상에 의한 Particle 발생의 소지가 있으며 이러한 현상들은 오링의 수명을 저하하는 주 원인이 된다.따라서 B.S.V(Bonded Slit Valve )는 위 현상들에 대한 단점을 보완한 제품으로 Rubber의 Grade는 사용 환경에 따라 다양한 재질로 적용이 가능하며, 기존 Insert Type 대비 사용이 용이하여 사용주기도 평균 2배이상 연장할수 있는 장점이 있다.


Bonded Slit Valve Plate에는 총 10개의 상품이 등록되어 있습니다.


[BSV] G01

[BSV] G34

[BSV] G21

[BSV] G15
AMAT BSV

[BSV] G09
ULTIMA BSV

[BSV] G11

[BSV] G17
ENDURA BSV

[BSV] G05
ATTO HP PROCESS CHAMBER BSV

[BSV] G12
TEL PVD PROCESS CHAMBER BSV

[BSV] G04
ROCKER PROCESS BSV