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Material Specifications
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CoreRes® 는 과불화 탄성 중합체로서 지난 10년간 현장에서 꾸준히 검증되어 왔습니다.
CoreRes® 는 뛰어난 내화학적 특성, 내열성, 내플라즈마성 그리고 차별화된 물리적 특성과 탄성력까지 겸비하고 있습니다. 또한 발전하고 있는 미세 선폭 공정에 맞추어 나노 미립자로 구성된 제품까지 고객이 요구하는 어떠한 환경에서도 훌륭한 성과를 보여 드릴 것입니다.

CoreRes® KI-300

CoreRes® KI-300 은 Nano size filler를 적용시킨 과불소 제품으로 Particle generation 최소화하여 생산 공정 중 발생되는 내부 오염을 억제하였다. 최대 사용 온도는 320°C로 뛰어난 내열성을 갖고 있으며, 고온에서도 매우 우수한 영구압축줄음율 및 물리적 특성을 유지하여 고정부, 구동부에 모두 적용이 가능하도록 개발되었다. 또한 CoreRes® KI-300은 식각성 Cleaning gas (NF3, O2 등) 및 반응성 가스에 대한 우수한 플라즈마 저항성을 갖고 있어 Dry etching, PVD, CVD, Diffusion 등의 공정에서의 사용이 적합하다.

CoreRes® SL-201

CoreRes® SL-201은 나노 필러를 적용시킨 과불소 제품으로 Particle generation을 최소화 하였고, 특히 식각성 Cleaning gas(NF3, O2 등) 및 반응성 가스에 대한 우수한 플라즈마 저항성으로 Dry etching, PVD, CVD, Diffusion 등의 공정에서의 사용이 적합하도록 개발되었다. 또한 CoreRes® SL-201 은 최대 사용 온도 300℃로 고온 및 플라즈마 환경에서도 안정적인 물리적 특성을 유지하여 고정부, 구동부에 모두 적용이 가능한 제품이다.

CoreRes® IN-107

CoreRes® IN-107 은 나노사이즈 필러를 적용하여 공정상의 Particle generation을 최소화 하였고, 식각성 Cleaning gas(O2, NF3 등) 및 반응성 가스에 대한 우수한 플라즈마 저항성으로 Dry etching, PVD, CVD, Diffusion 등의 공정에서의 사용이 적합하다. 최대 사용온도 230°C로 고온 및 플라즈마 환경에서도 안정적인 물리적 특성을 유지하여 고정부, 구동부에 모두 적용이 가능한 제품이다.

CoreRes® EL-275FL

CoreRes® EL-275FL은 기존 과불소(FFKM)의 특징을 up-grade 한 제품으로써 기존 과불소 Compound 에 비하여 particle generation 현상을 최소화 하였다. 식각성 cleaning gas (NF3, O2 etc.) 및 반응성 gas 사용 환경에 최적화 된 제품으로 고온 및 고 진공 T/F 및 Etch 공정에 우수한 성능을 발휘 한다. CoreRes® EL-275FL 은 최대 온도 320°C 까지 지속 사용이 가능하며, 안정적인 복원력을 확보 하여 고정 부, 구동 부에 적용이 가능한 제품이다.

CoreRes® EL-270

CoreRes® EL-270은 기존 과불소(FFKM)의 특징을 up-grade 한 제품으로써 기존 과불소 Compound 에 비하여 particle generation 현상을 최소화 하였다. 식각성 cleaning gas (NF3, O2 etc.) 및 반응성 gas 사용 환경에 최적화 된 제품으로 고온 및 고 진공 T/F 및 Etch 공정에 우수한 성능을 발휘 한다. 또한 CoreRes® EL-270 은 최대 온도 320°C 까지 지속 사용이 가능하며, 안정적인 복원력을 확보 하여 고정 부, 구동 부에 적용이 가능한 제품이다.

CoreRes® C-475

CoreRes® C-475는 고온용(FFKM)으로써 뛰어난 내화학성 특성을 가지며 각종 Chemical, Oil & Gas Application 의 o-ring 및 Specialized sealing에 적합한 제품이다. 최고 고온 320 ℃ 에서도 안정적인 C/S (Compression Set)값을 보이며 고 진공, 고 압력 공정에 우수한 성능을 발휘 하여고정부, 구동부 적용이 가능한 제품이다.

CoreRes® C-375

CoreRes® C-375는 기존 과불소 Compound(FFKM)에 내화학성 특성을 최상화 한 제품으로써 Oil & Gas, Chemical 산업에 최적화 한 제품이다. 각종 반응성 Chemical 및 Hot water & vapor, 유기, 무기물, 솔벤트 및 Oil류 사용 환경에 최적화 된 제품이며 고온(230°C)에도 우수한 복원력을 (Compression Set) 갖는다. C-375 안정적인 기계적 성능을 발휘하며, 일반 FFKM에 비하여 고압, 고진공 Application 에도 뛰어난 RGD(Rapid Gas Decompression), ED(Explosive Decompression) 대한 저항성을 확보 하여 고정 부, 구동 부에 적용이 가능한 제품이다.

CoreRes® 5080UP

CoreRes® 5080up은 각종 Toxic Gas, High-Power Plasma 환경에서 뛰어난 저항성을 가진 5080Compound에서 Up-grade 된 재질로 사용 온도는 280°C이며, Perfluoro-elastomer 중 상위내 플라즈마성을 나타내며 특히, 02, NF3에 대한 내성을 강화한 특징이 있다. 반투명 Violet색으로 Low-contamination 특성이 있으며, 반도체/ FPD 산업의 Sealing용 제품으로 비용 대비 가장 적합한 제품이다.

CoreRes® 5080

CoreRes® 5080은 plasma 와 gas deposition applications을 위해 특별히 개발된 제품이다.
CoreRes® 5080은 Fluorine 과 O2 기반의 plasma에서 최소 particle 생성과 낮은 weight loss 등의 우수한 plasma 저항성을 나타내며, 또한 우수한 기계적 특성으로 고정 부, 구동 부 모두에 적용이 가능한 제품이다.

CoreRes® i475

CoreRes® i475는 고 청정 공정에 적합하며 그 동안 Crystal 계열의 문제점으로 지적된 물성이 현격히 개선된 제품이다. 또한 각종 Toxic Gas에 의한 손상이 적고, 기계적 물성에 의한 Damage를 최소화 하였다.
CoreRes® 는 최대 온도 220°C에서 지속 사용이 가능하다.

CoreRes® F-972

CoreRes®F-972는 F-575(FKM)에서 물리적, 화학적 특성을 향상시킨 제품이다. Compression Set과 내마모성이 우수하여 각종 Valve O-Ring, Lid O-Ring 용으로 사용할 수 있다. 또한 저 플라즈마 환경에서 저항성을 가지며 오일, 연료, 솔벤트, 알코욜류에 사용이 가능하다.

CoreRes®F-575(FKM)

CoreRes®F-575는 각종 석유와 솔벤트에 뛰어난 저항성을 가지고 있으며, 200℃ 온도에서도 좋은 Performance를 나타낸다. 반도체 및 FPD 산업에 Sealing용 제품으로 가장 널리 사용되며, 아민, 암모니아, 뜨거운 산에서의 적용은 알맞지 않다.